一種硅料清洗劑

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911419536.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111154565A 公開（公告）日 2020-05-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN111154565A 申請(qǐng)公布日 2020-05-15
分類號(hào) C11D1/90;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/60 分類 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 陳鋒;沙彥文;董長(zhǎng)海;蘇波;周小淵;柯小龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銀川長(zhǎng)征知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 馬長(zhǎng)增;姚源
地址 755100 寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧縣新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅料清洗劑,包括了清洗劑SX1和清洗劑SX2兩部分；所述清洗劑SX1由檸檬酸、乙酸、甜菜堿和高純水配置組成，質(zhì)量比為檸檬酸0.5?1份、乙酸0.2?0.5份、甜菜堿0.5?1.0份、余量為高純水；所述清洗劑SX2由氫氟酸配置去離子水制成，質(zhì)量比為氫氟酸5份、余量為去離子水。有益效果在于：所使用的酸均為弱酸，不會(huì)對(duì)操作人員產(chǎn)生危害，安全性高；在對(duì)硅料的清洗過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生氮氧化物，對(duì)硅料表面?zhèn)π?，?duì)環(huán)境不會(huì)產(chǎn)生污染，清洗后的廢液酸性弱，容易處理。