一種單晶爐自動冷卻控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820708153.5 申請日 -
公開(公告)號 CN208224865U 公開(公告)日 2018-12-11
申請公布號 CN208224865U 申請公布日 2018-12-11
分類號 G05D23/20 分類 控制;調(diào)節(jié);
發(fā)明人 吳建成;任偉;柯小龍;周小淵;陳鋒;蘇波 申請(專利權(quán))人 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銀川長征知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 馬長增;姚源
地址 755100 寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧縣新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶爐自動冷卻控制系統(tǒng)包括了循環(huán)水箱、溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)、輔助冷卻風(fēng)機(jī)和自動控制器,所述溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)和輔助冷卻風(fēng)機(jī)固定安裝在循環(huán)水箱上,所述自動控制器控制連接溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)和輔助冷卻風(fēng)機(jī);所述自動控制器中設(shè)置有控制器模塊、溫度監(jiān)測模塊、風(fēng)機(jī)控制模塊、輔助風(fēng)機(jī)控制模塊和計時控制模塊,所述控制器模塊分別控制連接溫度監(jiān)測模塊、風(fēng)機(jī)控制模塊和輔助風(fēng)機(jī)控制模塊,所述控制器模塊和輔助風(fēng)機(jī)控制模塊的控制電路上設(shè)置計時控制模塊;有益效果在于:冷卻過程實現(xiàn)自動控制,無需人員頻繁巡查,節(jié)省人工;冷卻水溫控制度高,能夠精確符合工藝范圍要求,為生產(chǎn)提供了穩(wěn)定的工作環(huán)境,提升工藝穩(wěn)定性。