一種單晶爐自動冷卻控制系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201820708153.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN208224865U | 公開(公告)日 | 2018-12-11 |
申請公布號 | CN208224865U | 申請公布日 | 2018-12-11 |
分類號 | G05D23/20 | 分類 | 控制;調(diào)節(jié); |
發(fā)明人 | 吳建成;任偉;柯小龍;周小淵;陳鋒;蘇波 | 申請(專利權(quán))人 | 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 銀川長征知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 馬長增;姚源 |
地址 | 755100 寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧縣新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種單晶爐自動冷卻控制系統(tǒng)包括了循環(huán)水箱、溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)、輔助冷卻風(fēng)機(jī)和自動控制器,所述溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)和輔助冷卻風(fēng)機(jī)固定安裝在循環(huán)水箱上,所述自動控制器控制連接溫度檢測器、冷卻風(fēng)機(jī)和輔助冷卻風(fēng)機(jī);所述自動控制器中設(shè)置有控制器模塊、溫度監(jiān)測模塊、風(fēng)機(jī)控制模塊、輔助風(fēng)機(jī)控制模塊和計時控制模塊,所述控制器模塊分別控制連接溫度監(jiān)測模塊、風(fēng)機(jī)控制模塊和輔助風(fēng)機(jī)控制模塊,所述控制器模塊和輔助風(fēng)機(jī)控制模塊的控制電路上設(shè)置計時控制模塊;有益效果在于:冷卻過程實現(xiàn)自動控制,無需人員頻繁巡查,節(jié)省人工;冷卻水溫控制度高,能夠精確符合工藝范圍要求,為生產(chǎn)提供了穩(wěn)定的工作環(huán)境,提升工藝穩(wěn)定性。 |
