一種集成電路加工清潔設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010398852.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111515180B 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN111515180B 申請公布日 2021-07-02
分類號 B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 楊吉 申請（專利權）人 銅陵藍盾豐山微電子有限公司
代理機構 北京高航知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉艷玲
地址 244000 安徽省銅陵市銅陵經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)紡織工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種集成電路加工清潔設備，具體涉及集成電路技術領域，包括機架，所述機架的上側設有清潔區(qū)，所述機架的下側設有非清潔區(qū)，所述清潔區(qū)的上方設有直線導軌，所述直線導軌上方的兩側均設有液壓缸，所述液壓缸的上下兩端分別與清潔區(qū)的頂部和直線導軌的上端固定安裝。本發(fā)明通過清潔機構的設置，不僅能夠實現(xiàn)對集成電路板的夾持，而且在夾持的過程中，通過風筒和長桿的轉動，還實現(xiàn)了帶動集成電路板進行翻轉的目的，使集成電路板兩側都能夠被水洗到，并且，在集成電路板轉動的過程中，還實現(xiàn)了對集成電路板進行風洗的目的，結構較為緊湊，清潔速度快且效果較好，不易對集成電路板造成損傷。