一種集成電路加工清潔設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010398852.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111515180A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN111515180A 申請公布日 2021-07-02
分類號 B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 楊吉 申請（專利權(quán)）人 銅陵藍(lán)盾豐山微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱龍科專利代理有限公司 代理人 李智慧
地址 150000 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)南直路181號盟科視界9棟1單元15層2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種集成電路加工清潔設(shè)備，具體涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架，所述機(jī)架的上側(cè)設(shè)有清潔區(qū)，所述機(jī)架的下側(cè)設(shè)有非清潔區(qū)，所述清潔區(qū)的上方設(shè)有直線導(dǎo)軌，所述直線導(dǎo)軌上方的兩側(cè)均設(shè)有液壓缸，所述液壓缸的上下兩端分別與清潔區(qū)的頂部和直線導(dǎo)軌的上端固定安裝。本發(fā)明通過清潔機(jī)構(gòu)的設(shè)置，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對集成電路板的夾持，而且在夾持的過程中，通過風(fēng)筒和長桿的轉(zhuǎn)動，還實(shí)現(xiàn)了帶動集成電路板進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的目的，使集成電路板兩側(cè)都能夠被水洗到，并且，在集成電路板轉(zhuǎn)動的過程中，還實(shí)現(xiàn)了對集成電路板進(jìn)行風(fēng)洗的目的，結(jié)構(gòu)較為緊湊，清潔速度快且效果較好，不易對集成電路板造成損傷。