一種半導體芯片清洗劑及制備方法與應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010995984.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112266832A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN112266832A 申請公布日 2021-08-24
分類號 C11D1/831;C11D3/18;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02;H01L21/67 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 呂晶;侯軍 申請（專利權(quán)）人 江蘇奧首材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京至臻永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭曉玲;張寶香
地址 215523 江蘇省蘇州市常熟碧溪新區(qū)萬和路39號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導體芯片清洗劑，其包括潤濕剝離劑和全氟端基聚氧乙烯醚構(gòu)成的潤濕剝離組合物，還可包含滲透劑、增溶劑、復合功能劑、含氮絡合劑、有機助劑和超純水，還提供了其制備方法、用途和半導體芯片的清洗方法。所述清洗劑通過包含特定組分組成的潤濕剝離組合物，以及滲透劑、復合功能劑和含氮絡合劑的優(yōu)選組合與協(xié)同，從而取得了優(yōu)異的技術(shù)效果，在半導體芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域具有良好的工業(yè)應用前景和推廣潛力。