一種陶瓷材料切割液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011594383.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112680272A 公開（公告）日 2021-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN112680272A 申請(qǐng)公布日 2021-04-20
分類號(hào) C10M173/02;C10N30/04 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤滑劑；泥煤;
發(fā)明人 侯軍;褚雨露 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇奧首材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連星海專利事務(wù)所有限公司 代理人 楊翠翠
地址 116000 遼寧省大連市高新區(qū)高能街125號(hào)云計(jì)算中心
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種陶瓷材料切割液，屬于光電子器件的表面精密加工領(lǐng)域。在陶瓷材料切割過程中，刀片高速旋轉(zhuǎn)與陶瓷表面劇烈摩擦，產(chǎn)生的靜電荷在表面上累積。切割產(chǎn)生的碎屑會(huì)被吸附在表面，導(dǎo)致后續(xù)無法清洗干凈。該切割液的低聚皂化合物在溶液中電離形成負(fù)電荷基團(tuán)，其同時(shí)還具有類似表面活性劑的兩親性結(jié)構(gòu)，使其能夠在晶圓表面形成定向排列的吸附層，其帶有負(fù)電荷的基團(tuán)朝外，與帶有負(fù)電荷的硅碎屑之間形成斥力，從而阻擋硅碎屑與陶瓷表面直接接觸，避免了碎屑對(duì)陶瓷造成的污染。