一種半導(dǎo)體芯片清洗劑及制備方法與應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010995984.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112266832B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112266832B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C11D1/831;C11D3/18;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02;H01L21/67 | 分類(lèi) | 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭; |
| 發(fā)明人 | 呂晶;侯軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇奧首材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京至臻永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 彭曉玲;張寶香 |
| 地址 | 215523 江蘇省蘇州市常熟碧溪新區(qū)萬(wàn)和路39號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體芯片清洗劑，其包括潤(rùn)濕剝離劑和全氟端基聚氧乙烯醚構(gòu)成的潤(rùn)濕剝離組合物，還可包含滲透劑、增溶劑、復(fù)合功能劑、含氮絡(luò)合劑、有機(jī)助劑和超純水，還提供了其制備方法、用途和半導(dǎo)體芯片的清洗方法。所述清洗劑通過(guò)包含特定組分組成的潤(rùn)濕剝離組合物，以及滲透劑、復(fù)合功能劑和含氮絡(luò)合劑的優(yōu)選組合與協(xié)同，從而取得了優(yōu)異的技術(shù)效果，在半導(dǎo)體芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域具有良好的工業(yè)應(yīng)用前景和推廣潛力。 |
