一種用于晶片襯底片的金剛石研磨液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011548272.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112646550B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112646550B 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類(lèi)號(hào) C09K3/14（2006.01）I 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 侯軍;王凱麗 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇奧首材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連星海專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 楊翠翠
地址 116000遼寧省大連市高新區(qū)高能街125號(hào)云計(jì)算中心
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于晶片襯底片的金剛石研磨液，其屬于精細(xì)化工技術(shù)領(lǐng)域。該研磨液中醇醚有機(jī)溶劑的加入，使該研磨液的表面張力降低，增加了潤(rùn)濕滲透能力。多功能金屬離子捕捉劑的分子結(jié)構(gòu)中含有酰胺官能團(tuán)，酰胺鍵與一個(gè)氧原子相連。金屬離子捕捉劑與有機(jī)溶劑的協(xié)同作用可顯著降低研磨屑對(duì)晶片表面以及邊緣的吸附力，易被沖洗，避免將研磨屑帶入去蠟槽。并且采用高性能的分散劑對(duì)金剛石微粉進(jìn)行均勻分散，是研磨液具有良好的分散穩(wěn)定性。