一種具有硅片裸露報(bào)警功能的插片機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021947341.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212903245U 公開(公告)日 2021-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN212903245U 申請(qǐng)公布日 2021-04-06
分類號(hào) G01D5/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 朱興華;杜愛強(qiáng);沈習(xí)部;張禮東;顧寶強(qiáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 高佳太陽(yáng)能股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 聶啟新
地址 214174江蘇省無(wú)錫市堰橋鎮(zhèn)堰豐路168號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片插片技術(shù)領(lǐng)域,尤其為一種具有硅片裸露報(bào)警功能的插片機(jī),包括支撐柱、傳送平臺(tái)和L型板,所述支撐柱的頂端與傳送平臺(tái)的底端固定連接,所述傳送平臺(tái)的頂端設(shè)置有硅片,所述傳送平臺(tái)的兩端固定連接有螺桿,所述L型板的頂端設(shè)置有連接座,所述連接座的頂端固定連接有對(duì)射感應(yīng)器,本實(shí)用新型中,通過(guò)設(shè)置的對(duì)射感應(yīng)器等構(gòu)件,可以使得片盒進(jìn)入清洗機(jī)前,設(shè)置的對(duì)射感應(yīng)器可以對(duì)硅片的高度進(jìn)行對(duì)射檢測(cè),當(dāng)對(duì)射感應(yīng)器感受到硅片超高時(shí),對(duì)射感應(yīng)器會(huì)通過(guò)控制器控制報(bào)警器工作,此時(shí),工作人員可以人為的將硅片插入底部,保證清洗過(guò)程中硅片不會(huì)露出水面,從而保證硅片清洗徹底,減少臟片的產(chǎn)生,具有很好的實(shí)用性。??