超大載片量石英舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021711244.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212648198U | 公開（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212648198U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蘭鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永鼎律師事務(wù)所 | 代理人 | 陸永強(qiáng) |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城區(qū)航埠鎮(zhèn)通航一路3號(hào)1幢、2幢、3幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種超大載片量石英舟，包括側(cè)板、定位塊、伸縮桿、壓擋板、硅片置板、彈性安裝柱與底板，側(cè)板設(shè)置于若干硅片置板的兩側(cè)，定位塊與伸縮桿活動(dòng)連接，伸縮桿的一端貫穿側(cè)板設(shè)置于定位塊的右端，伸縮桿的另一端與壓擋板固定連接，壓擋板貼合設(shè)置于硅片置板上，硅片置板設(shè)置有若干個(gè)，彈性安裝柱固定設(shè)置于各硅片置板之間，底板設(shè)置于最底端硅片置板的底部，可通過在側(cè)板之間增加硅片置板數(shù)量，進(jìn)而提高承載硅片量。本實(shí)用新型通過硅片置板、彈性安裝柱與側(cè)板的配合使用，有效提高硅片置板可承載硅片數(shù)量，安裝穩(wěn)定，可承載不同形狀的硅片，且能夠保護(hù)硅片，不易破損。?? |
