高壓深刻蝕石英蓋板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021712326.4 申請日 -
公開（公告）號 CN212648201U 公開（公告）日 2021-03-02
申請公布號 CN212648201U 申請公布日 2021-03-02
分類號 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蘭鋒 申請（專利權(quán)）人 浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 浙江永鼎律師事務(wù)所 代理人 陸永強
地址 324000浙江省衢州市柯城區(qū)航埠鎮(zhèn)通航一路3號1幢、2幢、3幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高壓深刻蝕石英蓋板，包括石英蓋板本體、散熱片、第一支撐板、第二支撐板、蓋板合頁以及加固槽，所述石英蓋板本體的表面設(shè)置有散熱片，所述第一支撐板設(shè)置于石英蓋板本體的左側(cè)，所述第二支撐板設(shè)置于石英蓋板本體的右側(cè)，所述蓋板合頁設(shè)置于石英蓋板本體的下側(cè)，所述加固槽活動安裝于石英蓋板本體的后部，輔助使用承載裝置進(jìn)行多枚硅片的盛放，需要通過蓋板輔助承載裝置進(jìn)行硅片的保存，可用于保溫筒使用，從而保存硅片。本實用新型適用于高壓深刻蝕作用，其表面刻蝕液不易被自然風(fēng)干燥及與硅片接觸造成磨損碰撞，有助于提高散熱效率，延長硅片的保存時長。??