可自動(dòng)插片的菱形石英舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021712311.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212648200U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212648200U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蘭鋒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永鼎律師事務(wù)所 | 代理人 | 陸永強(qiáng) |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城區(qū)航埠鎮(zhèn)通航一路3號(hào)1幢、2幢、3幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可自動(dòng)插片的菱形石英舟，包括限位齒槽、連接擋板、固定板、側(cè)墊、插片機(jī)、自動(dòng)安插桿以及頂板，所述限位齒槽設(shè)置于連接擋板的左側(cè)，所述連接擋板設(shè)置于固定板的左側(cè)，所述側(cè)墊設(shè)置于固定板的上下兩端，所述插片機(jī)通過(guò)自動(dòng)安插桿固定設(shè)置于固定板的右側(cè)，所述頂板設(shè)置于插片機(jī)的右側(cè)，使用時(shí)，通過(guò)限位齒槽的內(nèi)部設(shè)置的矯正感應(yīng)器進(jìn)行精確對(duì)位硅片，利用插片機(jī)實(shí)現(xiàn)了石英舟可以自動(dòng)化插片，不需要在進(jìn)行手工插片，同時(shí)上下兩側(cè)的側(cè)墊保護(hù)硅片，提高自動(dòng)插片的使用安全度。本實(shí)用新型可以通過(guò)插片機(jī)部件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化插片，同時(shí)可利用具有矯正感應(yīng)器的限位齒槽進(jìn)行插片角度的矯正，提高自動(dòng)化插片的精度，進(jìn)而提高插片效率。?? |
