一種無鋁型II類超晶格長波雙勢壘紅外探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610351898.6 申請日 -
公開(公告)號 CN105789364A 公開(公告)日 2018-07-06
申請公布號 CN105789364A 申請公布日 2018-07-06
分類號 H01L31/101;H01L31/11;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周易;陳建新;王芳芳;徐志成 申請(專利權(quán))人 常州中科德材科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 郭英
地址 200083 上海市虹口區(qū)玉田路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種無鋁型II類超晶格雙勢壘長波紅外探測器,其具體結(jié)構(gòu)為GaSb襯底向上依次為超晶格長波N型接觸層、超晶格空穴勢壘層、超晶格長波吸收區(qū)、超晶格中波電子勢壘層和超晶格長波P型接觸層,上電極TiPtAu位于超晶格長波N型接觸層上,下電極TiPtAu位于超晶格長波P型接觸層上。本發(fā)明公開的結(jié)構(gòu)利用無鋁型雙勢壘的設(shè)計(jì)和引入獲得暗電流小、探測率高,信噪比大的長波超晶格紅外探測器。