一種金剛石用新式化學(xué)氣相沉積裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121077012.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214655231U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN214655231U 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) C23C16/27（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹曉君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南良誠(chéng)新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙湘馳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅若愚
地址 422000湖南省邵陽(yáng)市邵陽(yáng)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房B區(qū)第8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及金剛石技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種金剛石用新式化學(xué)氣相沉積裝置，包括諧振腔，所述諧振腔由下部的氣相沉積室和上端的石英微波窗組成，氣相沉積室內(nèi)設(shè)有沉積臺(tái)，沉積臺(tái)上設(shè)有基片和微波等離子體，所述石英微波窗內(nèi)壁均勻設(shè)有若干石英片，所述石英微波窗與氣相沉積室之間開(kāi)設(shè)有與外部氣源連接的進(jìn)氣口，所述氣相沉積室底端開(kāi)設(shè)有與微波源連接的微波入口，本實(shí)用新型通過(guò)在石英微波窗內(nèi)壁均勻設(shè)有若干石英片，且將進(jìn)氣口設(shè)于述石英微波窗與氣相沉積室之間，這樣在引導(dǎo)氣流的導(dǎo)向，可使諧振腔內(nèi)金剛石表面的微波功率密度、氣流、溫度快速穩(wěn)定的分布均勻，可有效提高氣相沉積效率，從而有效提高金剛石的質(zhì)量。