一種化學(xué)氣相沉積鉆石的設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110670039.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113463065A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113463065A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) C23C16/27（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹曉君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南良誠(chéng)新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙湘馳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅若愚
地址 422000湖南省邵陽(yáng)市邵陽(yáng)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房B區(qū)第8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)氣相沉積鉆石的設(shè)備，包括反應(yīng)箱，所述反應(yīng)箱底端設(shè)有若干支撐腳，所述反應(yīng)箱內(nèi)底壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸頂端與反應(yīng)箱內(nèi)頂壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸表面固定套有若干托盤，若干所述托盤下表面均設(shè)有若干電加熱器，所述反應(yīng)箱外側(cè)壁一側(cè)設(shè)有微波發(fā)生器，所述反應(yīng)箱外側(cè)壁設(shè)有若干散熱板，所述反應(yīng)箱頂端設(shè)有兩個(gè)進(jìn)氣管，兩個(gè)所述進(jìn)氣管位于反應(yīng)箱內(nèi)的一端均固定連接有連接管。本發(fā)明中，設(shè)置有反應(yīng)箱、散熱板、圍板和風(fēng)扇，從而可以對(duì)反應(yīng)箱側(cè)壁進(jìn)行降溫，進(jìn)而避免反應(yīng)箱內(nèi)側(cè)壁上發(fā)生沉積，并且，反應(yīng)箱內(nèi)部設(shè)有多個(gè)托盤和放置板，放置板與托盤之前設(shè)有重量傳感器，使得該設(shè)備可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)合成鉆石的重量。