一種化學氣相沉積金剛石的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121346608.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214830651U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214830651U 申請公布日 2021-11-23
分類號 C23C16/54（2006.01）I;C23C16/27（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹曉君 申請（專利權）人 湖南良誠新材料科技有限公司
代理機構 長沙湘馳達知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 羅若愚
地址 422000湖南省邵陽市邵陽經(jīng)濟開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園標準廠房B區(qū)第8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種化學氣相沉積金剛石的冷卻裝置，包括制備罐本體，所述制備罐本體外殼通過兩個連接管連接有儲液罐，其中一所述連接管中部設有循環(huán)泵，所述儲液罐中部固定連接有第一濾網(wǎng)，所述儲液罐頂端開設有多個氣孔，所述氣孔內(nèi)壁固定連接有多個連接塊，多個所述連接塊共同固定連接有散熱管，所述散熱管內(nèi)壁固定連接有多個散熱桿，所述散熱桿共同固定連接有內(nèi)管，所述散熱管內(nèi)壁兩端分別固定連接有第二濾網(wǎng)與第三濾網(wǎng)，本實用新型通過設置第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)與第三濾網(wǎng)，第一濾網(wǎng)的設置便于更好的對冷卻液進行格擋，便于更好的使用，第二濾網(wǎng)的設置便于更好的格擋冷卻液，第三濾網(wǎng)的設置便于更好的隔絕來自排氣泵靜置時下落的灰塵。