一種具有亞波長(zhǎng)抗反射光柵mini LED的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111251081.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113690347A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113690347A 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類(lèi)號(hào) H01L33/00;H01L33/44 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李俊承;趙敏博;白繼鋒;徐培強(qiáng);潘彬;王向武;熊珊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南昌凱捷半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌金軒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊麗
地址 330000 江西省南昌市臨空經(jīng)濟(jì)區(qū)黃堂西街199號(hào)8#廠房204室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及LED技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種具有亞波長(zhǎng)抗反射光柵mini LED的制作方法，包括以下步驟：外延片的生長(zhǎng)、表面粗化處理、表面沉積SiO2、表面化學(xué)機(jī)械拋光、表面活化和鍵合、去除原有GaAs基板、臺(tái)面制作、P電極制作、N電極制作、隔離道蝕刻、鈍化隔離、接觸孔蝕刻、焊盤(pán)制作、藍(lán)寶石減薄和拋光、臨時(shí)鍵合、蒸鍍SiO2薄膜、光柵制作、解除臨時(shí)鍵合、切割和劈裂。本發(fā)明通過(guò)在mini LED出光面制作亞波長(zhǎng)抗反射光柵，只需要蒸鍍單層膜，工藝流程大大簡(jiǎn)化，在保障較高出光效率的情況下，工藝操作更方便；本發(fā)明應(yīng)用臨時(shí)鍵合技術(shù)，保證基板減薄的情況下，提高了成品率。