一種具有Ag反射鏡的mini/microLED及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111606885.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113990995A 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113990995A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) H01L33/46（2010.01）I;H01L33/00（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李俊承;趙敏博;談凱強(qiáng);劉蘇杰;王克來;白繼鋒;熊珊;潘彬;王向武 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌凱捷半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌金軒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 桑耀
地址 330000江西省南昌市臨空經(jīng)濟(jì)區(qū)黃堂西街199號(hào)8#廠房204室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及LED技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有Ag反射鏡的mini/micro LED及其制作方法，該mini/micro LED包括藍(lán)寶石基板、LED外延層、P電極、N電極、第一鈍化層、Ag反射鏡、第二鈍化層和焊盤電極；Ag反射鏡通過大馬士革工藝鑲嵌在第一鈍化層上；第二鈍化層沉積在Ag反射鏡和第一鈍化層表面，并將Ag反射鏡覆蓋。本發(fā)明mini/micro LED通過大馬士革工藝引入Ag反射鏡，可以很精確的控制芯片表面Ag鏡膜覆蓋區(qū)域與厚度，反射率得到大大提高，同時(shí)將Ag反射鏡制作在SiO2層之間，形成全方位反射層，對(duì)不同角度的入射光均有很好的反射效果，同時(shí)Ag反射鏡被兩層SiO2有效保護(hù)，不會(huì)被氧化或腐蝕，質(zhì)量穩(wěn)定。