一種氮氧化物傳感器陶瓷芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810622527.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109001284A 公開（公告）日 2018-12-14
申請公布號 CN109001284A 申請公布日 2018-12-14
分類號 G01N27/41 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫衛(wèi)龍;萬筱怡;賀立龍;楊睿;武巧莉;洪向東 申請（專利權）人 西安創(chuàng)聯(lián)電氣科技（集團）有限責任公司
代理機構 西安永生專利代理有限責任公司 代理人 西安創(chuàng)聯(lián)電氣科技（集團）有限責任公司
地址 710065 陜西省西安市高新區(qū)電子工業(yè)園電子西街3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮氧化物傳感器陶瓷芯片，第一層膜片上設表面覆蓋保護層的氧泵正極，氧泵正極和第一層膜片上設有采集腔，第二層膜片上設第二通孔～第四通孔，第二通孔內設第一擴散障，第一擴散障將第二通孔分成第一測量室和緩沖腔，第一測量室內設主氧泵負極，第二通孔與第三通孔間設第二擴散障，第三通孔為第二測量室內設輔助泵負極，第三通孔與第四通孔間設第三擴散障，第四通孔為第三測量室內設表面覆蓋保護層的測量電極，第三層膜片上設有參比通道，參比通道內設表面覆蓋保護層的參比電極，第四層膜片與第五層膜片之間設包裹在加熱電極絕緣層內的加熱電極，加熱電極外引線穿過第五層膜片位于第五層膜片下表面，第五層膜片設有填充加熱電極絕緣層漿料的應力釋放孔。