一種自動升降掃描電鏡樣品座系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111054920.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114188203A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114188203A 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01J37/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙曼;朱振華 申請（專利權(quán)）人 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
代理機構(gòu) 上海匯齊專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 200000上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)富特北路211號302部位368室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動升降掃描電鏡樣品座系統(tǒng)，包括支撐座，所述支撐座底壁內(nèi)設(shè)有動力腔、移動腔與升降槽，所述動力腔內(nèi)設(shè)有驅(qū)動電機，所述移動腔內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有與驅(qū)動電機連接的第一螺紋桿，所述升降槽內(nèi)設(shè)有支撐塊，所述升降槽與支撐塊之間設(shè)有限位機構(gòu)，所述支撐塊通過連接機構(gòu)與第一螺紋桿連接，所述支撐塊上端面設(shè)有用于放置樣品的放置槽。本發(fā)明通過設(shè)置支撐機構(gòu)與嚙合機構(gòu)，在支撐塊下移的時候轉(zhuǎn)塊可以通過外壁的齒圈與齒條發(fā)生轉(zhuǎn)動，從而通過擠壓桿、活動塊、保護墊擠壓樣品外壁對其進行擠壓固定，避免使用螺栓等簡單結(jié)構(gòu)實現(xiàn)擠壓固定功能，裝置整體結(jié)構(gòu)合理巧妙，賦予裝置科技感也提高了裝置的功能性。