硅片上料抓取裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022237726.0 申請日 -
公開(公告)號 CN213445115U 公開(公告)日 2021-06-15
申請公布號 CN213445115U 申請公布日 2021-06-15
分類號 B65G49/07(2006.01)I 分類 輸送;包裝;貯存;搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 閆善韻 申請(專利權(quán))人 蘇州璞智自動化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州拓源科佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 趙艾亮
地址 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)松陵鎮(zhèn)菀坪社區(qū)誠心村11組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及硅片傳送設(shè)備領(lǐng)域,尤其是硅片上料抓取裝置。該抓取裝置包括機(jī)臺、硅片花籃、硅片抬升機(jī)構(gòu)、硅片對齊機(jī)構(gòu)、雙移動座線性模組、硅片抓取機(jī)構(gòu)、傳感器、花籃移動機(jī)構(gòu),所述機(jī)臺上安裝有花籃移動機(jī)構(gòu),花籃移動機(jī)構(gòu)上連接有硅片花籃,機(jī)臺下方設(shè)有硅片抬升機(jī)構(gòu),機(jī)臺的臺面上設(shè)有用于穿過硅片抬升機(jī)構(gòu)的穿孔,機(jī)臺上安裝有硅片對齊機(jī)構(gòu)和雙移動座線性模組,雙移動座線性模組位于硅片對齊機(jī)構(gòu)上方。本實用新型通過可移動的硅片花籃將硅片移動至抓取工位。通過硅片抬升機(jī)構(gòu)將硅片從花籃中抬出。通過硅片對齊機(jī)構(gòu)將抬出的硅片拍齊。通過硅片抓取機(jī)構(gòu)將拍齊的硅片抓起然后放入其他設(shè)備。本申請?zhí)岣吡斯杵ト〉男省?/td>