導正型硅片插片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921072978.3 申請日 -
公開（公告）號 CN209880643U 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN209880643U 申請公布日 2019-12-31
分類號 H01L31/18（2006.01）; H01L21/677（2006.01）; H01L21/683（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 向永富 申請（專利權）人 蘇州璞智自動化科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市吳江區(qū)松陵鎮(zhèn)菀坪社區(qū)誠心村11組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及硅片加工設備領域，尤其是導正型硅片插片機。該插片機包括機臺、二軸機械手、吸盤、吹氣機構、傳送臺、導正機構、花籃、花籃升降機構、硅片升降機構和分片機構，所述機臺上安裝有二軸機械手、傳送臺、導正機構、分片機構，二軸機械手的升降端固定有吸盤，二軸機械手的水平移動端固定有吹氣機構，傳送臺位于導正機構之間，機臺底端固定有花籃升降機構和硅片升降機構，花籃升降機構上定位有花籃。本實用新型通過二軸機械手驅動吸盤將硅片從硅片升降機構抓取到傳送臺上，吹氣機構將硅片上的污物吹除。傳送臺將硅片傳送到花籃內。通過導正機構來防止硅片偏移傳送方向。本申請?zhí)岣吡斯杵迤男省?/td>