一種可自動(dòng)收集式硅片導(dǎo)片裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921072964.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210110734U 公開(kāi)（公告）日 2020-02-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN210110734U 申請(qǐng)公布日 2020-02-21
分類(lèi)號(hào) H01L21/677 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 向永富 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州璞智自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市吳江區(qū)松陵鎮(zhèn)菀坪社區(qū)誠(chéng)心村11組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種可自動(dòng)收集式硅片導(dǎo)片裝置，包括上板、下板、圓柱、運(yùn)動(dòng)件、載具以及傳送組件；所述上板通過(guò)圓柱與下板連接，所述下板上設(shè)置有氣缸和定位框，所述定位框上設(shè)置有感應(yīng)器，所述定位框與運(yùn)動(dòng)件位置相對(duì)應(yīng)，所述運(yùn)動(dòng)件通過(guò)氣缸的活塞桿與下板連接，所述載具通過(guò)運(yùn)動(dòng)件與氣缸連接，所述上板上設(shè)置有通槽和滑槽，所述傳送組件與通槽位置相對(duì)應(yīng)，所述傳送組件上設(shè)置有豎槽，所述載具上設(shè)置有橫槽，所述豎槽和橫槽位置相對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型提供一種可自動(dòng)收集式硅片導(dǎo)片裝置，提高了工作效率，降低了裝置成本，節(jié)約了生產(chǎn)成本。