硅片放料裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022237073.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213264578U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213264578U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號(hào) | B65G47/90(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 閆善韻 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州璞智自動(dòng)化科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州拓源科佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙艾亮 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)松陵鎮(zhèn)菀坪社區(qū)誠(chéng)心村11組 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及硅片傳送設(shè)備領(lǐng)域，尤其是硅片放料裝置。該放料裝置包括機(jī)臺(tái)、石英舟、石英舟移動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)一、雙移動(dòng)座線性模組、硅片抓取機(jī)構(gòu)、硅片下沉機(jī)構(gòu)、硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)二、定位機(jī)構(gòu)，所述機(jī)臺(tái)上安裝有石英舟移動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)一、雙移動(dòng)座線性模組、硅片下沉機(jī)構(gòu)、硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)二，雙移動(dòng)座線性模組位于硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)一和硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)二上方。本實(shí)用新型通過(guò)可移動(dòng)的石英舟來(lái)承載硅片。通過(guò)硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)一將抓取前的硅片進(jìn)行對(duì)齊。通過(guò)硅片對(duì)齊機(jī)構(gòu)二將疊合在一起后的硅片進(jìn)行對(duì)齊。通過(guò)硅片抓取機(jī)構(gòu)進(jìn)行硅片抓取。通過(guò)硅片下沉機(jī)構(gòu)將硅片下沉入石英舟內(nèi)。本申請(qǐng)?zhí)岣吡斯杵b入石英舟的效率。?? |
