硅片取放料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022237071.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213264577U 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN213264577U 申請公布日 2021-05-25
分類號 B65G47/90(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 閆善韻 申請（專利權）人 蘇州璞智自動化科技有限公司
代理機構 蘇州拓源科佳知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 趙艾亮
地址 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)松陵鎮(zhèn)菀坪社區(qū)誠心村11組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及硅片傳送設備領域，尤其是硅片取放料裝置。該取放料裝置包括機臺、硅片花籃、硅片抬升機構、抓硅片機械手、石英舟、石英舟移動機構、硅片下降機構、花籃移動機構、定位機構，所述機臺上安裝有花籃移動機構、硅片抬升機構、抓硅片機械手、石英舟移動機構、硅片下降機構，機臺上設有用于穿過硅片抬升機構的穿孔和用于穿過硅片下降機構的穿孔，石英舟移動機構上安裝有用于定位石英舟的定位機構。本實用新型通過硅片花籃將一疊硅片水平移動至取料工位。通過硅片抬升機構將硅片從硅片花籃中升出。通過抓硅片機械手將升出的硅片抓走并放置到石英舟內(nèi)。通過硅片下降機構將硅片沉入石英舟內(nèi)。本申請?zhí)岣吡斯杵》帕系墓ぷ餍省??