真空熒光顯示器陽極、制造方法及所得真空熒光顯示器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200410027607.5 申請日 -
公開（公告）號 CN1713330A 公開（公告）日 2005-12-28
申請公布號 CN1713330A 申請公布日 2005-12-28
分類號 H01J29/02;H01J1/38;H01J9/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳小飛;陳鑒波;譚奇成;陳一全;楊耀虎 申請（專利權(quán)）人 肇慶智華光電子技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 肇慶智華光電子技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 526060廣東省肇慶市迎賓大道北125區(qū)三層綜合樓（健華大院內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制造真空熒光顯示器的陽極的方法及所得的產(chǎn)品，該方法包括：設(shè)計陽極電極圖案、光繪電極圖案的底片、制作基板、在基板上鍍鋁膜、在鋁膜上涂覆感光材料、圖案轉(zhuǎn)移、曝光、顯影、蝕刻、脫膜等步驟。該方法制得的真空熒光顯示器陽極產(chǎn)品電極膜厚度僅為2～4μm，陽極上的電極圖案線徑也僅為0.03～0.04mm，線距可以只有0.05mm甚至更小，像素點可以達到0.2×0.2mm甚至更小。