一種氣體匯總分流器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921752751.3 申請日 -
公開(公告)號 CN210856330U 公開(公告)日 2020-06-26
申請公布號 CN210856330U 申請公布日 2020-06-26
分類號 C23C16/455(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 姚群;劉亮;劉海 申請(專利權(quán))人 深圳市辰翔新能源技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 深圳市深聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市辰翔新能源技術(shù)有限公司
地址 518000廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)蘭竹東路13號609-610區(qū)域(東城大廈)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氣體匯總分流器,包括呈圓管狀的法蘭管和螺旋擾流器,所述法蘭管的兩端管口分別連接有進氣法蘭和出氣法蘭,所述進氣法蘭上設(shè)有一個進氣孔,所述進氣孔連接有進氣管,所述出氣法蘭上設(shè)置有多個相同孔徑的出氣孔,每個所述出氣孔均連接有出氣管;所述螺旋擾流器的螺旋盤以所述法蘭管的軸線為中心設(shè)置于所述法蘭管的內(nèi)腔中,所述螺旋擾流器的螺旋片面布設(shè)有若干貫穿的孔洞。本實用新型的氣體匯總分流器采用螺旋擾流器可使通入的各種氣體充分混合,尾部的出氣側(cè),且可根據(jù)需要設(shè)置多個相同尺寸的出氣孔,使得出氣均勻,從而滿足了單管給多個分立式夾具進行均勻供氣的需求。??