振膜及包括該振膜的電容麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010163721.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101883306B 公開（公告）日 2012-12-12
申請公布號 CN101883306B 申請公布日 2012-12-12
分類號 H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 楊斌;張睿 申請（專利權(quán)）人 瑞聲微電子科技（常州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園北區(qū)新西路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種振膜，其包括振動部和與振動部相連的支撐部，所述支撐部與振動部通過凸出于振動部外周的凸塊連接，且振動部與支撐部之間有第一縫隙，支撐部包括位于振動部外周且與凸塊分離的支撐梁、與凸塊相連的扭轉(zhuǎn)梁和與支撐梁相連的固定梁，固定梁與扭轉(zhuǎn)梁之間有第二縫隙。該種振膜可以釋放振膜在沉積過程中所形成的應(yīng)力。