MEMS加速度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010198622.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101871952B 公開(kāi)（公告）日 2012-07-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN101871952B 申請(qǐng)公布日 2012-07-11
分類號(hào) G01P15/18(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瑞聲微電子科技（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園北區(qū)新西路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微機(jī)電領(lǐng)域，具體指一種能檢測(cè)沿著三個(gè)正交軸加速度的MEMS加速度傳感器，其包括襯底、質(zhì)量塊，沿第一方向排布并垂直于質(zhì)量塊的側(cè)面的法向的若干第一動(dòng)電極、平行于第一動(dòng)電極的若干第一定電極，第一動(dòng)電極與第一定電極之間具有重疊面積，第一動(dòng)電極相較第一定電極更遠(yuǎn)離質(zhì)量塊的上表面；垂直于第一方向的第二方向上，具有垂直于質(zhì)量塊的側(cè)面的法向的若干第二動(dòng)電極，平行于第二動(dòng)電極的若干第二定電極，第二動(dòng)電極與第二定電極之間具有重疊面積，第二動(dòng)電極相較第二定電極更靠近質(zhì)量塊的上表面。將實(shí)現(xiàn)三軸方向的加速度檢測(cè)，采用固定電極單元和運(yùn)動(dòng)電極單元之間的交疊面積變化來(lái)實(shí)現(xiàn)Z軸的傳感性能，減少了結(jié)構(gòu)的整體尺寸。