基于多圖像面積關(guān)系的顯微成像系統(tǒng)自動(dòng)對焦方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110563916.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113467067B 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN113467067B 申請公布日 2022-07-01
分類號 G02B21/24（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 史金飛;何睿清;張健;郝飛 申請（專利權(quán)）人 南京工程學(xué)院
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 211167江蘇省南京市江寧科學(xué)園弘景大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于多圖像面積關(guān)系的顯微成像系統(tǒng)自動(dòng)對焦方法，包括以下過程：將兩束激光光束投射到樣品表面，并接收樣品表面反射的兩束激光光束形成的兩個(gè)面積不同的光斑圖像，獲得顯微物鏡與樣品之間的距離與兩個(gè)光斑面積之間對應(yīng)關(guān)系；調(diào)整顯微物鏡與樣品之間的距離，由不同距離與光斑面積之間映射關(guān)系形成面積查找表；獲取待測環(huán)境中光斑圖像，根據(jù)面積查找表獲得此光斑面積對應(yīng)的顯微物鏡與樣品之間距離；根據(jù)此距離計(jì)算得到離焦距離，基于此離焦距離移動(dòng)顯微物鏡相對樣品位置，從而實(shí)現(xiàn)顯微成像系統(tǒng)的自動(dòng)對焦。本發(fā)明采用兩條光束投影到測量物體表面，利用兩者之間的相互關(guān)系來考察聚焦情況，提高檢測精度。