一種3D-MEMS探針的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110632967.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113562686A 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113562686A 申請公布日 2021-10-29
分類號 B81C1/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 施元軍 申請（專利權(quán)）人 蘇州韜盛電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 閆露露
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)唯文路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種3D?MEMS探針的制造方法，具體包括如下步驟：在襯底上濺射一層種子層；旋涂負的或者正的光刻膠；利用光刻機對產(chǎn)品進行曝光并顯影；利用電鍍的方法生長高強度金屬；去除相關(guān)的光刻膠；利用電鍍在高強度金屬和暴露的種子層上生長出金屬層；利用研磨機器將金屬層研磨至高強度金屬的厚度；重復(fù)生長完成后最終利用濕法去除所述種子層和所述金屬層，將3D結(jié)構(gòu)探針從襯底上面剝離后，收集并清洗。本發(fā)明利用MEMS加工技術(shù)，混合電鍍研磨技術(shù)，生產(chǎn)制造3D探針，并使用濕法腐蝕方法來剝離生產(chǎn)制造出的產(chǎn)品，制備工藝簡單，實現(xiàn)了MEMS加工技術(shù)在3D探針產(chǎn)品制備的應(yīng)用。