一種用于硅片加工的拋光機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921991593.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211760339U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211760339U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B7/22(2006.01)I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 孫韜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧波日晟新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波知坤專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱玉泉 |
| 地址 | 315410浙江省寧波市余姚市丈亭鎮(zhèn)龍豐村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于硅片加工的拋光機(jī)，使用時(shí)，將硅片放置在安裝基座上，在啟動(dòng)升降氣缸帶動(dòng)升降桿向下移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)第一交叉桿和第二交叉桿向下移動(dòng)，上端板和下端板不僅能夠?qū)⒋蚰ケP(pán)調(diào)節(jié)到適當(dāng)?shù)奈恢?，其本身也具有很好為穩(wěn)定性，便于裝置本體的使用；將下端板下端的打磨盤(pán)調(diào)節(jié)到合適的位置處后，在啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)安裝基座在穩(wěn)固座上進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，然后硅片自身也轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)穩(wěn)固座上的嵌設(shè)柱能夠使得安裝基座穩(wěn)固轉(zhuǎn)動(dòng)，使得硅片在打磨盤(pán)的下端穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng)，便于提高硅片打磨的穩(wěn)固性，此時(shí)將拋光液通過(guò)出液管和噴頭進(jìn)行噴灑，在安裝基座轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，能夠帶動(dòng)硅片沿著打磨盤(pán)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)打磨，提高了打磨拋光的效率，經(jīng)濟(jì)實(shí)用，便于推廣。?? |
