用于蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)的自動調(diào)藥裝置和控制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120932745.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215404532U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215404532U 申請公布日 2022-01-04
分類號 C23F1/08;C23F1/46 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭健成;關(guān)家斌 申請（專利權(quán)）人 廣東德同環(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 四川倉頡律師事務(wù)所 代理人 曹華;張勇
地址 528203 廣東省佛山市南海區(qū)九江鎮(zhèn)龍高公路敦上大道2號4樓401（住所申報(bào)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)的自動調(diào)藥裝置和控制器。該自動調(diào)藥裝置包括：第一容器，第二容器，藥料輸送設(shè)備，以及控制器；第一容器，用于容納補(bǔ)充藥料；第二容器，用于容納再生液，并接收補(bǔ)充藥料，以進(jìn)行組分調(diào)配；藥料輸送設(shè)備設(shè)置在第一容器與第二容器之間，用于將第一容器內(nèi)的補(bǔ)充藥料輸送至第二容器中；控制器與藥料輸送設(shè)備通信連接，用于通過啟動信號或者停止信號控制藥料輸送設(shè)備的啟動或者停止，以從第一容器向第二容器輸送指定量的補(bǔ)充藥料，從而解決補(bǔ)充投料延遲較大，投料精確度低，導(dǎo)致再生后的蝕刻液蝕刻穩(wěn)定性差，再生循環(huán)效率和蝕刻良品率較低等問題。