電化學拋光液回收裝置與方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911410727.6 申請日 -
公開(公告)號 CN113122905A 公開(公告)日 2021-07-16
申請公布號 CN113122905A 申請公布日 2021-07-16
分類號 C25F7/02(2006.01)I;C25F3/22(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝;其所用設備〔4〕;
發(fā)明人 吳雷;李凱強;金一諾;吳均;王堅;王暉 申請(專利權)人 盛美半導體設備(上海)股份有限公司
代理機構 上海光華專利事務所(普通合伙) 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電化學拋光液回收裝置與方法,該裝置包括:上方設有開口的電解槽,用于容納拋光液;包括電極板的極板組件;電極板包括陰極板和陽極板,分別連接直流電源;電極板在電解時浸入拋光液并沉積固態(tài)物質;包括刮刀的刮刀組件,用于刮除固態(tài)物質;用于驅動刮刀與電極板相對移動的驅動組件,使刮刀從電極板刮除固態(tài)物質;包括網兜的過濾組件,網兜對電極板進行包圍隔離,用于過濾固態(tài)物質。本發(fā)明通過引入驅動、刮刀和過濾等組件,使析出金屬在完成電解過程后,在從電解槽中取出時自動被刮所刮除并收集于網兜中。本發(fā)明避免了析出金屬對拋光液的二次污染,解決了析出金屬的快捷回收問題,提升了作業(yè)效率。