軸密封結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911410573.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113124167A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113124167A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) F16J15/40（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 吳均;程成;吳雷;王堅(jiān);王暉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 佟婷婷
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種軸密封結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體設(shè)備，軸密封結(jié)構(gòu)包括：具有上下貫穿安裝孔的底座，裝配在所述安裝孔中的運(yùn)動(dòng)軸，運(yùn)動(dòng)軸的外壁與安裝孔的內(nèi)壁之間具有間隙；開(kāi)設(shè)于運(yùn)動(dòng)軸內(nèi)的通氣管路，通氣管路具有進(jìn)氣端及出氣端，進(jìn)氣端與供氣源相連通，出氣端與間隙相連通。本發(fā)明通過(guò)通氣管路的設(shè)置，在運(yùn)動(dòng)軸與底座之間的間隙中形成氣密封，有利于防止廢液、廢氣等通過(guò)所述間隙進(jìn)行擴(kuò)散造成相互污染，在半導(dǎo)體設(shè)備中引入上述密封結(jié)構(gòu)，可以防止工藝腔與外界通過(guò)所述間隙進(jìn)行互通，特別是在濕法處理設(shè)備中，從而可以防止?jié)穹ㄌ幚淼碾s質(zhì)、廢氣、廢液、腐蝕液等進(jìn)入所述間隙，并防止上述廢氣、廢液等擴(kuò)散到外界，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備其他部件或其他設(shè)備造成腐蝕。