晶圓卡盤
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201911405362.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113130370A | 公開(公告)日 | 2021-07-16 |
申請公布號 | CN113130370A | 申請公布日 | 2021-07-16 |
分類號 | H01L21/687(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 王鶴;陶曉峰;賈社娜;韓陽;王暉 | 申請(專利權(quán))人 | 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 余明偉 |
地址 | 201203上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種晶圓卡盤,底座包括軌道;旋轉(zhuǎn)輪位于底座上,且與底座活動連接;滑塊與軌道對應(yīng)設(shè)置,且位于軌道中;晶圓限位件與滑塊對應(yīng)設(shè)置,并與滑塊固定連接,以構(gòu)成中心對稱圖形,且對稱中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心位于同一軸線上;驅(qū)動器與旋轉(zhuǎn)輪相連接;連接桿與旋轉(zhuǎn)輪及滑塊活動連接,從而通過驅(qū)動器驅(qū)動旋轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)輪通過連接桿帶動滑塊運行,以驅(qū)使多個晶圓限位件沿徑線同步運行,在確保對晶圓固定的同時,使晶圓的中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心始終位于同一軸線上,從而在對晶圓進行夾持或卸載時,以及在將晶圓卡盤與旋轉(zhuǎn)軸件連接時,均可實現(xiàn)對晶圓的對心操作,提高晶圓的位置穩(wěn)定性,獲得高質(zhì)量的晶圓。 |
