晶圓卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911405362.8 申請日 -
公開(公告)號 CN113130370A 公開(公告)日 2021-07-16
申請公布號 CN113130370A 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王鶴;陶曉峰;賈社娜;韓陽;王暉 申請(專利權(quán))人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓卡盤,底座包括軌道;旋轉(zhuǎn)輪位于底座上,且與底座活動連接;滑塊與軌道對應(yīng)設(shè)置,且位于軌道中;晶圓限位件與滑塊對應(yīng)設(shè)置,并與滑塊固定連接,以構(gòu)成中心對稱圖形,且對稱中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心位于同一軸線上;驅(qū)動器與旋轉(zhuǎn)輪相連接;連接桿與旋轉(zhuǎn)輪及滑塊活動連接,從而通過驅(qū)動器驅(qū)動旋轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)輪通過連接桿帶動滑塊運行,以驅(qū)使多個晶圓限位件沿徑線同步運行,在確保對晶圓固定的同時,使晶圓的中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心始終位于同一軸線上,從而在對晶圓進行夾持或卸載時,以及在將晶圓卡盤與旋轉(zhuǎn)軸件連接時,均可實現(xiàn)對晶圓的對心操作,提高晶圓的位置穩(wěn)定性,獲得高質(zhì)量的晶圓。