晶圓卡盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911405362.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113130370A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113130370A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王鶴;陶曉峰;賈社娜;韓陽(yáng);王暉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓卡盤，底座包括軌道；旋轉(zhuǎn)輪位于底座上，且與底座活動(dòng)連接；滑塊與軌道對(duì)應(yīng)設(shè)置，且位于軌道中；晶圓限位件與滑塊對(duì)應(yīng)設(shè)置，并與滑塊固定連接，以構(gòu)成中心對(duì)稱圖形，且對(duì)稱中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心位于同一軸線上；驅(qū)動(dòng)器與旋轉(zhuǎn)輪相連接；連接桿與旋轉(zhuǎn)輪及滑塊活動(dòng)連接，從而通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)輪通過(guò)連接桿帶動(dòng)滑塊運(yùn)行，以驅(qū)使多個(gè)晶圓限位件沿徑線同步運(yùn)行，在確保對(duì)晶圓固定的同時(shí)，使晶圓的中心與旋轉(zhuǎn)輪的中心始終位于同一軸線上，從而在對(duì)晶圓進(jìn)行夾持或卸載時(shí)，以及在將晶圓卡盤與旋轉(zhuǎn)軸件連接時(shí)，均可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的對(duì)心操作，提高晶圓的位置穩(wěn)定性，獲得高質(zhì)量的晶圓。