晶圓供液裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911405318.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113130344A 公開（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113130344A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 韓陽(yáng);賈社娜;何西登;陶曉峰;王暉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓供液裝置，包括噴嘴、升降桿、支撐件及高度調(diào)節(jié)件；其中，升降桿包括第一端及相對(duì)的第二端，升降桿的第一端與噴嘴固定連接；支撐件中設(shè)置有容納升降桿的第二端的容納空間；高度調(diào)節(jié)件包括第一端及相對(duì)的第二端，高度調(diào)節(jié)件的第一端與升降桿相連接，高度調(diào)節(jié)件的第二端與支撐件相連接，且高度調(diào)節(jié)件的調(diào)節(jié)精度的等級(jí)包括微米級(jí)或毫米級(jí)，以通過(guò)具有高精度的高度調(diào)節(jié)件與升降桿及支撐件的相互作用，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴嘴的高度的精調(diào)，以滿足制程的需要，制備高質(zhì)量的晶圓。