一種排氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911405138.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113124200A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113124200A 申請公布日 2021-07-16
分類號 F16K11/085（2006.01）I;F16K27/06（2006.01）I;B08B9/023（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 王鶴;韓陽;劉文博;陶曉峰;王暉 申請（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉星
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種排氣裝置，包括外管、內(nèi)管、致動器及至少一沖洗液入口，其中，所述外管的側(cè)壁設(shè)有多個排氣口；所述內(nèi)管容納在所述外管內(nèi)，所述內(nèi)管的一端開口，另一端封閉，所述內(nèi)管的側(cè)壁設(shè)有至少一通孔；所述致動器與所述內(nèi)管封閉的一端連接以驅(qū)動所述內(nèi)管在所述外管內(nèi)旋轉(zhuǎn)以使所述內(nèi)管的至少一所述通孔對上所述外管的一所述排氣口以排出一種氣體，與此同時，所述外管的其他所述排氣口由所述內(nèi)管的側(cè)壁封閉；所述沖洗液入口設(shè)置于所述外管的側(cè)壁，并面對所述內(nèi)管的至少一部分外壁。本發(fā)明的排氣裝置便于清洗，操作簡單，無需重新裝配，可以節(jié)約工時，有利于提高生產(chǎn)效率。