管路連接結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911411132.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113124237A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113124237A 申請公布日 2021-07-16
分類號 F16L5/12（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 王雙五;賈社娜;仲召明;鄧新平;王暉 申請（專利權）人 盛美半導體設備（上海）股份有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種管路連接結構，包括管路、箱體壁及輔助件；其中，箱體壁上設置有貫穿箱體壁的安裝孔；輔助件位于安裝孔內(nèi)，輔助件包括容納管路的貫通孔，輔助件的外壁與箱體壁進行第一可拆卸連接，輔助件的內(nèi)壁與管路進行第二可拆卸連接，通過輔助件密封管路與箱體壁。本發(fā)明的管路連接結構在滿足密封的前提下，可降低傳輸物質(zhì)的泄漏概率；輔助件采用可拆卸連接，可方便工作人員對管路連接結構的維護及對連接部件的更換操作；將管路貫穿輔助件的貫通孔，可降低管路連接結構對連接部件的密封精度要求，降低成本；從而可節(jié)省人力資源及物力資源、提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高安全性。