一種金屬圖案化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910627876.1 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN112218436B 公開(公告)日 2021-10-01
申請公布號(hào) CN112218436B 申請公布日 2021-10-01
分類號(hào) H05K3/06(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 于洋 申請(專利權(quán))人 北京夢之墨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100081北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路67號(hào)中關(guān)村國際創(chuàng)新大廈505
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金屬圖案化方法,涉及減材制造技術(shù)領(lǐng)域。其中,該金屬圖案化方法,包括:在金屬表面上形成蝕刻掩模;將液態(tài)金屬涂覆至所述金屬表面未被所述蝕刻掩模所覆蓋的區(qū)域,使液態(tài)金屬對該區(qū)域內(nèi)的金屬進(jìn)行腐蝕,在未被所述蝕刻掩模所覆蓋的區(qū)域形成兩者的合金反應(yīng)物;通過施加蝕刻液消除在未被所述蝕刻掩模所覆蓋的區(qū)域上形成的合金反應(yīng)物,得到與所述蝕刻掩模的形狀一致的金屬圖案。本發(fā)明通過利用化學(xué)性質(zhì)活躍的液態(tài)金屬首先對金屬待蝕刻的區(qū)域進(jìn)行腐蝕,降低該區(qū)域金屬在整個(gè)金屬上的一致性,使該區(qū)域內(nèi)的金屬更易與蝕刻液進(jìn)行反應(yīng),從而提高化學(xué)蝕刻效率。