一種納米線氣體傳感器及電子鼻系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921663061.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211553852U 公開(公告)日 2020-09-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN211553852U 申請(qǐng)公布日 2020-09-22
分類號(hào) G01N27/407(2006.01)I;B82Y15/00(2011.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 黃輝;趙丹娜;尚瑞晨;段海波;吳海寧 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市微納集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市微納集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園C3棟22樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種納米線氣體傳感器及電子鼻系統(tǒng),納米線氣體傳感器包括襯底和多根納米線,多根納米線設(shè)置在襯底的上表面,每個(gè)納米線的兩端均設(shè)置有電極,多根納米線的表面分別覆蓋多種表面修飾層;通過單根納米線(或有限根數(shù)的納米線)形成獨(dú)立納米線器件,從而形成納米線器件陣列。通過多根納米線的表面分別覆蓋多種表面修飾層,使得不同的納米線器件具備不同的氣體響應(yīng)特性,從而實(shí)現(xiàn)氣體成分識(shí)別。??