等離子束發(fā)生裝置及產(chǎn)生等離子束的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910584763.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112188716A 公開(公告)日 2021-01-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN112188716A 申請(qǐng)公布日 2021-01-05
分類號(hào) H05H1/30(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 曾憲俊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海宏澎能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 馬景輝
地址 201900上海市寶山區(qū)盤古路388號(hào)5號(hào)樓三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及等離子束發(fā)生裝置及產(chǎn)生等離子束的方法。一種等離子束發(fā)生裝置,包括:第一氣體源,用于提供第一氣體;第二氣體源,用于提供第二氣體;以及等離子體發(fā)生器,用于將包含第一氣體和第二氣體的混合氣體電離,形成等離子束,其中,所述等離子束發(fā)生Z軸箍縮,所述第一氣體包含氫氣,所述第二氣體包含以下氣體中的至少一種:惰性氣體和氮?dú)狻??