一種大功率中空等離子體源裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922466883.6 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN211267223U 公開(公告)日 2020-08-14
申請公布號(hào) CN211267223U 申請公布日 2020-08-14
分類號(hào) H05H1/24(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 陳波 申請(專利權(quán))人 上海宏澎能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200120上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)郭守敬路351號(hào)2號(hào)樓A684-12室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種大功率中空等離子體源裝置,具有陽極棒、陰極棒、絕緣安裝板、陽極接線樁、陰極安裝板、陰極接線樁、絕緣套,陰極棒、陰極安裝板各具有相同的多只,陰極棒安裝在陰極安裝板的內(nèi)側(cè)下端,陰極接線樁安裝在其中一只陰極安裝板上端,剩余的陰極安裝板以及陰極棒分別安裝在絕緣安裝板下端,陽極棒上端安裝在絕緣套上部內(nèi)側(cè)端,陽極接線樁下端和陽極棒通過導(dǎo)線連接,絕緣套下部和絕緣安裝板連接在一起,絕緣套上部和陽極接線樁連接在一起,陰極接線樁和多只陰極棒經(jīng)導(dǎo)線連接,高電壓發(fā)生機(jī)構(gòu)電源輸出兩端分別陽極接線樁、陰極接線樁經(jīng)導(dǎo)線連接。本新型適用于多種氣體源使用,能產(chǎn)生較高熱負(fù)荷,等離子束流密度高。??