激光陀螺反射鏡散射檢測裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011112730.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114383808A 公開（公告）日 2022-04-22
申請公布號 CN114383808A 申請公布日 2022-04-22
分類號 G01M11/00（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G01M11/04（2006.01）I;G01C25/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉囡南;張巖;常悅;楊凱森;劉波;周衛(wèi)東;王慧英;金鑫;姜存光 申請（專利權(quán)）人 中科鋼研節(jié)能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉依云;劉亭亭
地址 100081北京市海淀區(qū)氣象路9號院8號樓4層418
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及激光陀螺技術(shù)領(lǐng)域，提供一種激光陀螺反射鏡散射檢測裝置，該裝置通過將激光器產(chǎn)生的激光光源經(jīng)過空間濾波器進(jìn)行聚焦、去除空間噪聲，再采用擴(kuò)束鏡改變激光光束直徑和發(fā)散角，以一定的角度δ射入至測試旋轉(zhuǎn)臺上的工件樣品，將激光光束經(jīng)過反射鏡工件樣品表面反射的光束進(jìn)入感光區(qū)域，再由CCD工業(yè)相機(jī)拍攝感光層受光束感光后的圖像數(shù)據(jù)，經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后由計算機(jī)進(jìn)行存儲和匹配計算，本發(fā)明還公開了一種方法，不僅能夠?qū)崟r在線地檢測光線經(jīng)過反射鏡工件樣品表面反射出激光光束的散射圖像情況，且高精度、高效率檢測激光光束經(jīng)過反射鏡工件樣品表面出現(xiàn)的能量損失，進(jìn)而可以高精度、高效率地檢測反射鏡工件樣品的質(zhì)量。