一種減薄機的氣浮主軸及減薄機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011515768.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112743452A 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN112743452A 申請公布日 2021-05-04
分類號 B24B41/047;B23Q11/12 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李戰(zhàn)偉;王海明;王明權(quán);劉國敬;劉婷婷 申請（專利權(quán)）人 北京中電科電子裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;曹娜
地址 100176 北京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號樓310室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種減薄機的氣浮主軸及減薄機，其中，氣浮主軸包括：轉(zhuǎn)軸以及支撐驅(qū)動機構(gòu)；轉(zhuǎn)軸包括：軸心、電機轉(zhuǎn)子和磨輪盤，軸心呈沿軸線方向貫通的中空結(jié)構(gòu)，且具有至少一條冷卻液通道；支撐驅(qū)動機構(gòu)包括：徑向軸承組合、電機驅(qū)動總成、止推軸承組合、下端蓋以及上端蓋，至少一條冷卻液回路連通上端蓋、徑向軸承組合、電機驅(qū)動總成、止推軸承組合以及下端蓋。氣浮主軸包括專用于對轉(zhuǎn)軸的軸心進行冷卻的冷卻液通道以及對支撐驅(qū)動機構(gòu)進行冷卻的冷卻液回路，當(dāng)冷卻液進入冷卻液通道和冷卻液回路時，可對轉(zhuǎn)軸、徑向軸承組合、電機驅(qū)動總成以及止推軸承組合等進行冷卻，使氣浮主軸處于恒溫的環(huán)境中，有利于提高氣浮主軸工作時的精度以及工作效率。