一種單芯片平行位置的確定方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711442714.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108198778B 公開(kāi)（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN108198778B 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類(lèi)號(hào) H01L21/68;G06T7/70 分類(lèi) -
發(fā)明人 孫彬;周文靜;夏志偉;劉婷婷;侯佳麗;顏剡;孟慶嵩 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京中電科電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京中電科電子裝備有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)泰河三街1號(hào)樓310室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單芯片平行位置的確定方法，包括以下步驟：步驟1，確定圖像模板及圖像模板對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)；步驟2，通過(guò)圖像模板找到對(duì)應(yīng)位置的芯片圖像；步驟3，根據(jù)圖像模板對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)和芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)對(duì)比得到芯片圖像與圖像模板的角度偏差值和芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)與圖像模板對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)坐標(biāo)的偏差值,以得到芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)A的坐標(biāo)A(m，n)及對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)A在坐標(biāo)系中的角度β；步驟4，根據(jù)角度偏差值和芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)A的坐標(biāo)偏差值得出芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)至平行位置時(shí)芯片圖像對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)坐標(biāo)B(x，y)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例能夠在任一對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行拉直計(jì)算，方便快捷的確定芯片的平行位置，減少了對(duì)準(zhǔn)時(shí)間，提高了對(duì)準(zhǔn)精度。