一種液體毛細鍵合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510756730.9 申請日 -
公開（公告）號 CN105390423B 公開（公告）日 2018-01-19
申請公布號 CN105390423B 申請公布日 2018-01-19
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李玉瑤;李楚鐘;王菲;許庭赫;付秀華;邢鵬岳;陳燨;陳潤澤;方鉉;魏志鵬;王曉華 申請（專利權(quán)）人 上海緯而視視訊科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 130022 吉林省長春市衛(wèi)星路7089號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種液體毛細鍵合裝置，包括載物臺（1）、一維滑軌（2）、滑塊（3）、聯(lián)接塊（4）、高壓氣體噴槍（5）、電磁閥門（6）、氣體容器（7）、圖像采集單元（8）、成像光學系統(tǒng)（9）和上位機（10）。該裝置采用圖像采集與處理系統(tǒng)實時判斷鍵合完成狀況來替代操作人員目測主觀判斷的方式，有效提高了判斷的準確性；在鍵合工藝完成后自動關(guān)閉高壓噴槍噴射氣體，節(jié)約了惰性氣體資源，且在整個鍵合工藝過程中無需操作人員值守。