金剛石有序排布的研磨修整器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110848719.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113529154A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113529154A 申請公布日 2021-10-22
分類號 C25D15/00;C25D3/12;C25D5/36;C25D7/00;B24B53/12;B24B53/017 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 鄒余耀;張富緯 申請（專利權(quán)）人 江蘇三超金剛石工具有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉松
地址 212400 江蘇省鎮(zhèn)江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)致遠(yuǎn)路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種金剛石有序排布的研磨修整器的制備方法。其包括如下步驟：S1、絲網(wǎng)印刷油墨層：利用絲網(wǎng)印刷法在基體表面涂布印刷一層設(shè)定圖案的油墨層；S2、電鍍金剛石：采用埋砂法在表面印刷好設(shè)定圖案油墨層的基體上電鍍金剛石；S3、去除油墨層：將電鍍金剛石后的基體放入堿溶液中浸泡使油墨層去除，得到去除油墨的基體；S4、基體整面電鍍加厚：將去除油墨的基體放入電鍍液中進(jìn)行基體整面電鍍加厚，得到金剛石有序排布的研磨修整器。本發(fā)明相比光刻膠法，工藝簡單、周期短、易操作，油墨成本低，有利于大規(guī)模推廣。本方法制備的金剛石研磨修整器，金剛石把持力高達(dá)50N以上。