一種基于共振光隧穿效應(yīng)的加速度檢測器及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510888044.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105548610B 公開（公告）日 2018-05-04
申請公布號 CN105548610B 申請公布日 2018-05-04
分類號 G01P15/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 菅傲群;段倩倩;魏重光;桑勝波;張文棟;唐軍;石云波 申請（專利權(quán)）人 山西清眾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 太原理工大學(xué)
地址 030024 山西省太原市萬柏林區(qū)迎澤西大街79號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及基于共振光隧穿效應(yīng)原理制作的加速度檢測器及檢測方法；提出了一種利用共振光隧穿效應(yīng)原理上高分辨率的特點(diǎn)，測量加速度的新型結(jié)構(gòu)的加速度檢測器；所采用的技術(shù)方案為：一種基于共振光隧穿效應(yīng)的加速度檢測器，包括固定框、彈性懸臂梁和質(zhì)量塊，可調(diào)光源和光電探測器，利用共振光隧穿效應(yīng)對質(zhì)量塊微弱移量的變化將會引起透射強(qiáng)度T大的變化量進(jìn)行檢測，以監(jiān)測到的光透射強(qiáng)度的變化獲得位移量大小，實(shí)現(xiàn)對微位移量的精確測量。