一種基于共振光隧穿效應(yīng)的加速度檢測(cè)器及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510888044.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105548610B 公開（公告）日 2018-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN105548610B 申請(qǐng)公布日 2018-05-04
分類號(hào) G01P15/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 菅傲群;段倩倩;魏重光;桑勝波;張文棟;唐軍;石云波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山西清眾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 太原理工大學(xué)
地址 030024 山西省太原市萬(wàn)柏林區(qū)迎澤西大街79號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及基于共振光隧穿效應(yīng)原理制作的加速度檢測(cè)器及檢測(cè)方法；提出了一種利用共振光隧穿效應(yīng)原理上高分辨率的特點(diǎn)，測(cè)量加速度的新型結(jié)構(gòu)的加速度檢測(cè)器；所采用的技術(shù)方案為：一種基于共振光隧穿效應(yīng)的加速度檢測(cè)器，包括固定框、彈性懸臂梁和質(zhì)量塊，可調(diào)光源和光電探測(cè)器，利用共振光隧穿效應(yīng)對(duì)質(zhì)量塊微弱移量的變化將會(huì)引起透射強(qiáng)度T大的變化量進(jìn)行檢測(cè)，以監(jiān)測(cè)到的光透射強(qiáng)度的變化獲得位移量大小，實(shí)現(xiàn)對(duì)微位移量的精確測(cè)量。