一種在瓦楞輥表面注滲氮化硅特種陶瓷的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910084987.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN101906606B 公開（公告）日 2014-04-23
申請公布號(hào) CN101906606B 申請公布日 2014-04-23
分類號(hào) C23C8/36(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊金龍;劉煒;陳立輝;陳俊忠;肖武 申請（專利權(quán)）人 深圳市東方企業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京申翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周春發(fā)
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園清華大學(xué)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種在瓦楞輥表面注滲氮化硅特種陶瓷的方法，其包含以下步驟：將瓦楞輥置于真空等離子熱處理爐內(nèi)，并與爐內(nèi)陰極的陰極相連；密封開啟真空系統(tǒng)，抽真空，之后充氫氣與四氯化硅氣體的混合氣；啟動(dòng)真空等離子熱處理爐的電源；提高工件電源電壓，加大工件電流，使工件逐步升溫，并保溫；保溫結(jié)束后，切斷輝光電源，關(guān)閉閥門，工件冷卻；排出四氯化硅與氫氣混合氣，將真空室抽真空后，充入氮?dú)馀c氫氣的混合氣；再次啟動(dòng)電源；提高工件電源電壓，加大工件電流，使工件逐步升溫，并保溫；本發(fā)明有效提高瓦楞輥的使用壽命，通過離子注滲的工藝，在瓦楞輥表面形成具有極高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅耐磨陶瓷層，將瓦楞輥壽命延長至1500萬長米，廢品率控制在2％以下。